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氮氢混合气在电子器件生产中的应用

氮氢混合气在电子器件生产中的应用

作者:
潘娟
来源:
发布时间:
2015/01/01
【摘要】:
在电子器件生产工艺中.广泛使用了各种高纯气体.按工艺中高纯度气体的不同用途,可将其分为保护气、反应气和载气.  用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气.在国内为获取氢气和氨气,为获得较高纯度的氢气,一般都采用电解纯水的方法制取.这种方法需用大量电能来电解水,一般达4.5~5.5kWh/Nm3H2,致使成本很高,为减少电能消耗,降低成本,都在研制和应用各种混合气.其中,以应用氮-氢混合气为最多.国

  在电子器件生产工艺中.广泛使用了各种高纯气体.按工艺中高纯度气体的不同用途,可将其分为保护气、反应气和载气.

  用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气.在国内为获取氢气和氨气,为获得较高纯度的氢气,一般都采用电解纯水的方法制取.这种方法需用大量电能来电解水,一般达4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高,为减少电能消耗,降低成本,都在研制和应用各种混合气.其中,以应用氮-氢混合气为最多.国外多采用液态氢和液态氮汽化法获得氮氢混合气,也有采用液氮分解法获得氮氢混合气的.

  用液氢和液氮汽化来获得氮氧混合气的方法,由于采用了液化后再汽化的工艺,故其投资和成本均较高.国外,由于生产的专业化程度高,使用单位多采用这种方法获得混合气.国内若从专业厂或大型联合企业的副产物获得液氢和液氮,其成本要比电解氢和“空分”氮获得的氢气与氯气高出几倍.由液氨分解获得的氮氧混合气,由于液氮来源不同,大多数质量较差,其中仍含有未分解的氨、水和氧等杂质.此外,液氮多来源于化肥厂,目前,供应上较紧张,故成本也较高.

  氮氢混合气不仅可在生产电子器件时取代氧气用作保护气,还可广泛用于冶金、化工、机械等行业.一旦广泛推广应用,必将产生可观的经济效益和社会效益.